@book{unknown-a,
  title = {薄膜材料のコンビナトリアル作製法と新規材料探索},
  author = {後藤 真宏},
  publisher = {(株)エヌ・ティー・エス},
  year = {},
  keywords = {コンビナトリアル, 薄膜, スパッタ, マテリアルズインフォマティックス, デバイス, 材料探索, ハイスループット}
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