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コレクション

引用

説明:

超薄膜エレクトロニクスグループにおける研究の取り組みについて紹介する。
特に、次世代半導体技術に必要不可欠な原子層堆積法を用いた新規機能性薄膜材料の探索について述べる。

権利情報:

• In Copyright
  

キーワード: 原子層堆積法

刊行年月日: [2025年10月]

出版者: 日本オゾン協会

掲載誌:

• Ozonews in Japan (ISSN: 09178260) issue. 135 p. 14-14

研究助成金:

原稿種別: 著者最終稿 (Accepted manuscript)

MDR DOI: https://doi.org/10.48505/nims.6432

公開URL: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000080606-i33840431#bib

関連資料:

その他の識別子:

連絡先:

更新時刻: 2026-07-31 09:22:02 +0900

MDRでの公開時刻: 2026-07-31 10:29:34 +0900