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原子層堆積法による高イオン伝導リチウムリン酸窒化物薄膜の作製
- Journal article
- Creator
-
鶴岡 徹 (author) (Search by this author)ナノアーキテクトニクス材料研究センター/量子材料分野/イオニクスデバイスグループ, 物質・材料研究機構
- Keyword
- リチウム固体電解質, 原子層堆積法, リチウムリン酸窒化物
- Date published
- [2025年1月]
- Updated at
- 2025-03-14 16:30:24 +0900