説明:
(abstract)ホウ素ドープダイヤモンド金属–酸化膜–半導体電界効果トランジスタ(MOSFET)は、厚さ150 nmのエピタキシャル層上に作製された。しきい値電圧は−8.0 Vと測定され、ノーマリーオフ動作を示すことが確認された。さらに、本MOSFETの絶対破壊電圧および破壊電界は、それぞれ1718 Vおよび1.52 MV/cmであることが明らかとなった。
権利情報:
キーワード: diamond
刊行年月日: 2026-01-25
出版者: 一般社団法人ニューダイヤモンドフォーラム
掲載誌:
研究助成金:
原稿種別: 著者最終稿 (Accepted manuscript)
MDR DOI: https://doi.org/10.48505/nims.6410
公開URL: https://jndf.org/katsudo/kaishi/backnumber/kaishi-160.html
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連絡先:
更新時刻: 2026-07-21 17:18:19 +0900
MDRでの公開時刻: 2026-07-15 16:30:53 +0900
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