ジャーナル論文 耐圧1.7 kV超のノーマリーオフ型ホウ素ドープダイヤモンド金属–酸化膜–半導体電界効果トランジスタ
劉 江偉 (author) (この著者で検索)
ORCID https://orcid.org/0000-0003-2580-7401
物質・材料研究機構 電子・光機能材料研究センター/光学材料分野/半導体欠陥制御グループ
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ORCID SAMURAI ;
寺地 徳之 (author) (この著者で検索)
ORCID https://orcid.org/0000-0002-7731-0547
物質・材料研究機構 電子・光機能材料研究センター/光学材料分野/半導体欠陥制御グループ
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達 博 (author) (この著者で検索)
ORCID https://orcid.org/0000-0002-0785-8662
物質・材料研究機構 マテリアル基盤研究センター/先端解析分野/量子ビーム回折グループ
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小出 康夫 (author) (この著者で検索)
名城大学
コレクション

引用
劉 江偉, 寺地 徳之, 達 博, 小出 康夫. 耐圧1.7 kV超のノーマリーオフ型ホウ素ドープダイヤモンド金属–酸化膜–半導体電界効果トランジスタ. NEW DIAMOND. 2026, 42 (1), . https://doi.org/10.48505/nims.6410

説明:

(abstract)

ホウ素ドープダイヤモンド金属–酸化膜–半導体電界効果トランジスタ(MOSFET)は、厚さ150 nmのエピタキシャル層上に作製された。しきい値電圧は−8.0 Vと測定され、ノーマリーオフ動作を示すことが確認された。さらに、本MOSFETの絶対破壊電圧および破壊電界は、それぞれ1718 Vおよび1.52 MV/cmであることが明らかとなった。

権利情報:

キーワード: diamond

刊行年月日: 2026-01-25

出版者: 一般社団法人ニューダイヤモンドフォーラム

掲載誌:

  • NEW DIAMOND (ISSN: 13404792) vol. 42 issue. 1

研究助成金:

原稿種別: 著者最終稿 (Accepted manuscript)

MDR DOI: https://doi.org/10.48505/nims.6410

公開URL: https://jndf.org/katsudo/kaishi/backnumber/kaishi-160.html

関連資料:

その他の識別子:

連絡先:

更新時刻: 2026-07-21 17:18:19 +0900

MDRでの公開時刻: 2026-07-15 16:30:53 +0900

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