論文 ホウ素ドープダイヤモンド金属-酸化膜-半導体電界効果トランジスタ

劉 江偉 SAMURAI ORCID (電子・光機能材料研究センター/機能材料分野/次世代半導体グループ, 物質・材料研究機構ROR) ; 寺地 徳之 SAMURAI ORCID (電子・光機能材料研究センター/光学材料分野/半導体欠陥制御グループ, 物質・材料研究機構ROR) ; 達 博 SAMURAI ORCID (マテリアル基盤研究センター/先端解析分野/量子ビーム回折グループ, 物質・材料研究機構ROR) ; 小出 康夫 SAMURAI ORCID (電子・光機能材料研究センター, 物質・材料研究機構ROR)

コレクション

引用
劉 江偉, 寺地 徳之, 達 博, 小出 康夫. ホウ素ドープダイヤモンド金属-酸化膜-半導体電界効果トランジスタ. NEW DIAMOND 誌. 2024, 40 (1), 19-21. https://doi.org/10.48505/nims.5048
SAMURAI

説明:

(abstract)

ホウ素ドープダイヤモンド金属-酸化膜-半導体電界効果トランジスタ(MOSFET)を平坦なダイヤモンドエピタキシャル層上に作製した。500℃のアニール前後の電気特性からトランジスタ動作を確認した。ドレイン電流と相互コンダクタンスの最大値は、これまでに報告されたホウ素ドープダイヤモンドMOSFETの値を5~10倍上回り、最高性能を達成した。

権利情報:

キーワード: Boron-doped diamond

刊行年月日: 2024-01-25

出版者: 一般社団法人 ニューダイヤモンドフィーラム

掲載誌:

  • NEW DIAMOND 誌 (ISSN: 13404792) vol. 40 issue. 1 p. 19-21

研究助成金:

原稿種別: 査読前原稿 (Author's original)

MDR DOI: https://doi.org/10.48505/nims.5048

公開URL: https://jndf.org/katsudo/kaishi/backnumber/kaishi-152.html

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連絡先:

更新時刻: 2024-11-29 16:30:52 +0900

MDRでの公開時刻: 2024-11-29 16:30:54 +0900

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