劉 江偉
(電子・光機能材料研究センター/機能材料分野/次世代半導体グループ, 物質・材料研究機構
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寺地 徳之
(電子・光機能材料研究センター/光学材料分野/半導体欠陥制御グループ, 物質・材料研究機構
)
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達 博
(マテリアル基盤研究センター/先端解析分野/量子ビーム回折グループ, 物質・材料研究機構
)
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小出 康夫
(電子・光機能材料研究センター, 物質・材料研究機構
)
説明:
(abstract)ホウ素ドープダイヤモンド金属-酸化膜-半導体電界効果トランジスタ(MOSFET)を平坦なダイヤモンドエピタキシャル層上に作製した。500℃のアニール前後の電気特性からトランジスタ動作を確認した。ドレイン電流と相互コンダクタンスの最大値は、これまでに報告されたホウ素ドープダイヤモンドMOSFETの値を5~10倍上回り、最高性能を達成した。
権利情報:
キーワード: Boron-doped diamond
刊行年月日: 2024-01-25
出版者: 一般社団法人 ニューダイヤモンドフィーラム
掲載誌:
研究助成金:
原稿種別: 査読前原稿 (Author's original)
MDR DOI: https://doi.org/10.48505/nims.5048
公開URL: https://jndf.org/katsudo/kaishi/backnumber/kaishi-152.html
関連資料:
その他の識別子:
連絡先:
更新時刻: 2024-11-29 16:30:52 +0900
MDRでの公開時刻: 2024-11-29 16:30:54 +0900
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152号G02トピックス(劉 江偉様).docx
(サムネイル)
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サイズ | 1010KB | 詳細 |