Download file (2.32 MB)
Download as zip (2.32 MB)

Collection

Citation

Description:

結晶の異方性を利用した酸化ガリウム半導体の微細加工技術について解説する。

Rights:

• In Copyright
  

Keyword: 酸化ガリウム, 微細加工, 選択成長, 選択ガスエッチング

Date published: 2024-11-30

Publisher: 技術情報協会

Journal:

• 車載テクノロジー vol. 12 issue. 2 p. 68-72

Funding:

Manuscript type: Publisher's version (Version of record)

MDR DOI:

First published URL: https://www.gijutu.co.jp/doc/magazine/at_2024_11.htm

Related item:

Other identifier(s):

Contact agent:

Updated at: 2024-12-05 08:30:36 +0900

Published on MDR: 2024-12-05 08:30:36 +0900