@misc{unknown2024a,
  title = {結晶の異方性を利用した酸化ガリウム半導体の微細加工技術},
  author = {大島 孝仁},
  publisher = {技術情報協会},
  year = {2024-11-30},
  keywords = {酸化ガリウム, 微細加工, 選択成長, 選択ガスエッチング}
}