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コレクション

引用

説明:

結晶の異方性を利用した酸化ガリウム半導体の微細加工技術について解説する。

権利情報:

• In Copyright
  

キーワード: 酸化ガリウム, 微細加工, 選択成長, 選択ガスエッチング

刊行年月日: 2024-11-30

出版者: 技術情報協会

掲載誌:

• 車載テクノロジー vol. 12 issue. 2 p. 68-72

研究助成金:

原稿種別: 出版者版 (Version of record)

MDR DOI:

公開URL: https://www.gijutu.co.jp/doc/magazine/at_2024_11.htm

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その他の識別子:

連絡先:

更新時刻: 2024-12-05 08:30:36 +0900

MDRでの公開時刻: 2024-12-05 08:30:36 +0900