永村 直佳
(マテリアル基盤研究センター/先端解析分野/光電子分光グループ, 物質・材料研究機構)
代替タイトル: Operando spectral imaging using synchrotron radiation X-rays illuminating the nano world
説明:
(abstract)光を物質に照射し、放出される光電子を検出する、という一次光学過程に基づいた分光分析手法が光電子分光法である。物性実験系の研究をしていると、一度は触れたことがある分析手法といっても過言ではない。しかし、化学反応を分析するツールとしては一般的なものとは言い難い。本稿では、放射光XPSの出口の一つとして、微細デバイス構造や機能性ナノ構造材料を動作環境下で(=オペランド)マッピング計測することが可能な走査型光電子顕微分光(SPEM)装置と、その具体的な分析事例について紹介する。
権利情報:
キーワード: オペランド, 放射光, イメージング, 半導体デバイス, 全固体電池
刊行年月日: 2023-07-31
出版者: 理論化学会
掲載誌:
研究助成金:
原稿種別: 著者最終稿 (Accepted manuscript)
MDR DOI: https://doi.org/10.48505/nims.5280
公開URL: https://www.jstc.org/frontier19/
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連絡先:
更新時刻: 2025-01-16 16:31:49 +0900
MDRでの公開時刻: 2025-01-16 16:31:49 +0900
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20241223永村_著者最終稿.pdf
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サイズ | 863KB | 詳細 |