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Alternative title: Operando spectral imaging using synchrotron radiation X-rays illuminating the nano world

Description:

光を物質に照射し、放出される光電子を検出する、という一次光学過程に基づいた分光分析手法が光電子分光法である。物性実験系の研究をしていると、一度は触れたことがある分析手法といっても過言ではない。しかし、化学反応を分析するツールとしては一般的なものとは言い難い。本稿では、放射光XPSの出口の一つとして、微細デバイス構造や機能性ナノ構造材料を動作環境下で(=オペランド)マッピング計測することが可能な走査型光電子顕微分光(SPEM)装置と、その具体的な分析事例について紹介する。

Rights:

• In Copyright
  

Keyword: オペランド, 放射光, イメージング, 半導体デバイス, 全固体電池

Date published: 2023-07-31

Publisher: 理論化学会

Journal:

• フロンティア (ISSN: 27584496) vol. 5 issue. 3 p. 196-201

Funding:

• JST JPMJPR17NB (さきがけ(マテインフォ))
• JST JPMJPR20T7 (さきがけ(反応制御))
• JSPS 26107503 (新学術領域研究(研究領域提案型))
• JSPS 15K17463 (若手研究(B))

Manuscript type: Author's version (Accepted manuscript)

MDR DOI: https://doi.org/10.48505/nims.5280

First published URL: https://www.jstc.org/frontier19/

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Updated at: 2025-01-16 16:31:49 +0900

Published on MDR: 2025-01-16 16:31:49 +0900