電子分光法における表面定量分析の標準化の歩み

田沼 繁夫

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電子分光法における表面定量分析の標準化の歩み

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AESやXPSに代表される表面電子分光法における定量化は, 1982年のVAMAS プロジェクト TWA-2 SCAの設立と1991年のISO TC201SCAの設立が２つの大きな転換点といえる。前者では，個々人の定量研究から国際共同研究を通して，定量の信頼性や正確性・遡及性が議論された。その発展として，ISOを通しての「定量化の標準化」がなされてきた。この定量化と標準化（の一断面）を, XPSとAESにおける「感度係数法」の進展を通して考えてみたい。この２つのプロジェクトがなければ「表面定量」はあっても「表面定量の標準化」は無かったであろう。

DOI

https://doi.org/10.48505/nims.4195

First published at

Creator

Name

田沼繁夫

ORCID

https://orcid.org/0000-0003-2628-9941

Organization

National Institute for Materials Science

Sub organization

統合型材料開発・情報基盤部門/材料データプラットフォームセンター/データサービスチーム

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