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モノづくりを支える表面分析技術: 表面分析の現状とその課題
MDR Open Deposited
「表面分析」は様々な捉え方が出来るが，ここでは実用的な「表面の化学分析」とする。産業界においては，表面分析は1980年代から現在にいたるまで材料評価の大きな部分を担っており，故障解析には不可欠のツールである。表面電子分光法を中心として，物作りを支える表面分析技術の現状とその課題について報告する。
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12_真空シンポジウム_2012-10-28_S.pdf | 15.4 MB | MDR Open |
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