Siウェハーおよび測定条件の違いによるXPSスペクトルの変化を測定したXPSスペクトルデータセット。SPring-8 BL15で測定。「試料名、抵抗率、X線アナライザー角度、ID」の構造でフォルダ分けされている（ただしAuでは「試料名、X線アナライザー角度、ID」）。本デー...