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Filtering by: Author SUMIYA, Masatomo Publisher National Institute for Materials Science

XPS spectral data for p- and n-type Si wafers with various resistivities acquired at SPring-8 BL15

Description/Abstract:

Siウェハーおよび測定条件の違いによるXPSスペクトルの変化を測定したXPSスペクトルデータセット。SPring-8 BL15で測定。「試料名、抵抗率、X線アナライザー角度、ID」の構造でフォルダ分けされている（ただしAuでは「試料名、X線アナライザー角度、ID」）。本デー...

Keyword:

SPring-8 BL15, Si, and XPS

Resource Type:

Dataset

Data origin:

experiments

Author:

SUMIYA, Masatomo

Date Uploaded:

23/05/2024