High-order resonance of single-crystal diamond MEMS with high-quality factor at high temperatures

プロシーディングス

著者

Guo Chen ; Zilong Zhang ; Keyun Gu ; Liwen Sang ; Satoshi Koizumi ; Masaya Toda ; Yasuo Koide ; Zhaohui Huang ; Meiyong Liao

キーワード

Diamond, MEMS

刊行年月日

2024-05-02

更新時刻

2024-10-11 16:30:28 +0900