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High-quality Factor Diamond MEMS Resonators for Ultra-precise Thermometry
- 口頭発表
- 著者
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Wen Zhao
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Guo Chen
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Zhaozong Zhang
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Satoshi KOIZUMI
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Meiyong Liao
- キーワード
- Diamond,, MEMS
- 刊行年月日
- 更新時刻
- 2026-01-09 11:00:08 +0900