資源タイプ: journal_article キーワード: wet etching
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Oshima_2025_Appl._Phys._Express_18_116501-1.pdf
Fabrication of β -Ga 2 O 3 /air-gap structures on (010) β -Ga 2 O 3 by wet etching in tetramethylammonium hydroxide (TMAH)
論文
著者
Takayoshi Oshima SAMURAI ORCID
キーワード
Ga2O3, TMAH, wet etching, MEMS
刊行年月日
2025-11-01
更新時刻
2025-11-27 08:30:13 +0900