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Electrical Properties of Boron-Doped Diamond MOSFETs With Ozone as Oxygen Precursor for Al2O3 Deposition
- 論文
- 著者
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Jiangwei Liu
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Tokuyuki Teraji
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Bo Da
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Yasuo Koide
- キーワード
- Boron-doped diamond, MOS capacitor, MOSFET
- 刊行年月日
- 2023-03-16
- 更新時刻
- 2024-01-05 22:13:56 +0900