Halide vapor phase epitaxy of a thick c -plane α-Ga2O3 film on a high-quality α-Cr2O3/sapphire template

論文

著者

Yuichi Oshima ; Takayoshi Oshima ; Shiyu Xiao ; Kazuto Murakami ; Katsuhiro Imai ; Takahiro Tomita

キーワード

Ga2O3, HVPE, Cr2O3

刊行年月日

2026-02-21

更新時刻

2026-02-18 16:30:15 +0900