Optical properties of single-crystal diamond MEMS: mitigating substrate interference
- ジャーナル論文
- 著者
-
Keyun Gu (author) (この著者で検索)
https://orcid.org/0000-0002-7505-7744
(unauthenticated)
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;Zilong Zhang (author) (この著者で検索)Zhaozong Zhang (author) (この著者で検索)
https://orcid.org/0009-0003-8745-4469
(unauthenticated)
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;Jian Huang (author) (この著者で検索)Yasuo Koide (author) (この著者で検索)
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Satoshi Koizumi (author) (この著者で検索)
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Meiyong Liao (author) (この著者で検索)
- キーワード
- Diamond, MEMS
- 刊行年月日
- 2025-12-31
- 更新時刻
- 2025-10-28 12:30:30 +0900
Low-Energy Dissipation Diamond MEMS
- ジャーナル論文
- 著者
-
;Guo Chen (author) (この著者で検索)Satoshi Koizumi (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
;
Yasuo Koide (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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Meiyong Liao (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
- キーワード
- Diamond, MEMS
- 刊行年月日
- 2024-09-27
- 更新時刻
- 2025-07-29 08:30:21 +0900