High-performance β-Ga2O3 Schottky barrier diodes and metal-semiconductor field-effect transistors on a high doping level epitaxial layer
- ジャーナル論文
- 著者
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;Qihao Zhang (author) (この著者で検索)Jiangwei Liu (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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;Chunming Tu (author) (この著者で検索);Dongyuan Zhai (author) (この著者で検索);Min He (author) (この著者で検索)Jiwu Lu (author) (この著者で検索) - キーワード
- Ga2O3, Transistor
- 刊行年月日
- 2023-01-03
- 更新時刻
- 2025-01-04 16:30:50 +0900
Fabrication of β -Ga 2 O 3 /air-gap structures on (010) β -Ga 2 O 3 by wet etching in tetramethylammonium hydroxide (TMAH)
- ジャーナル論文
- 著者
-
Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)
- キーワード
- Ga2O3, TMAH, wet etching, MEMS
- 刊行年月日
- 2025-11-01
- 更新時刻
- 2025-11-27 08:30:13 +0900