Atomic Layer Deposition of Polycrystalline Tin Dioxide Thin Films Using Liquid Bis（ethylcyclopentadienyl）tin

ジャーナル論文

著者

Fumikazu MIZUTANI (author) (この著者で検索)

Fumikazu MIZUTANI ;

Nobutaka TAKAHASHI (author) (この著者で検索)

Nobutaka TAKAHASHI ;

Toshihide NABATAME (author) (この著者で検索)

https://orcid.org/0000-0002-5973-0230

NIMS Researchers Directory SAMURAI

Toshihide NABATAME

キーワード

Atomic layer deposition, PEALD, Poricrystaline SnO2

刊行年月日

2025-12-01

更新時刻

2026-04-30 12:01:11 +0900