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Effect of Si addition on epitaxial growth and gas sensing properties of tungsten oxide films
- ジャーナル論文
- 著者
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Yutaka Adachi (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
- キーワード
- Tungsten trioxide, Epitaxial film, Si doping, Acetone, Ethanol, Gas selectivity
- 刊行年月日
- 2024-05-01
- 更新時刻
- 2024-05-24 12:30:24 +0900
Strain Control of (001)-Polar-Axis-Oriented Epitaxial Y-Doped HfO2 Thin Films
- ジャーナル論文
- 著者
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;Yoshiki Maekawa (author) (この著者で検索);Koji Hirai (author) (この著者で検索);Kazuki Okamoto (author) (この著者で検索)Takao Shimizu (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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Hiroshi Funakubo (author) (この著者で検索)
- キーワード
- Ferroelectric HfO2-based film, Epitaxial film, {100} Orientation control, Polar axis orientation, Pulse laser deposition
- 刊行年月日
- 2024-07-25
- 更新時刻
- 2024-12-24 13:58:35 +0900