資源タイプ: ジャーナル論文 キーワード: HVPE
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paper_-112.pdf
HCl-based halide vapor phase epitaxy and selective-area HCl gas etching of (−112) β-Ga 2 O 3
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ; ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, (−112), HVPE, HCl gas etching
刊行年月日
2026-12-31
更新時刻
2026-07-16 10:12:49 +0900
BGO(-102)HVPE_full_230811_clean.pdf
Homoepitaxial growth of (-102) β-Ga2O3 by halide vapor phase epitaxy
ジャーナル論文
著者
Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
β-Ga2O3, HVPE
刊行年月日
2023-10-01
更新時刻
2024-08-31 08:31:17 +0900
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