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Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam
- ジャーナル論文
- 著者
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Yoshikawa, Hideki (author) (この著者で検索)
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Ogiwara, Toshiya (author) (この著者で検索)
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Nagata, Takahiro (author) (この著者で検索)
- キーワード
- Auger Depth Profiling analysis, HfO2/Si, Ultra Low Angle Incidence Ion Beam
- 刊行年月日
- 2019-03-07
- 更新時刻
- 2024-01-05 22:11:28 +0900
Raw data files for Fig. 9 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
- データセット
- 著者
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OGIWARA, Toshiya (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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NAGATA, Takahiro (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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YOSHIKAWA, Hideki (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
- キーワード
- Auger depth profiling analysis, HfO2/Si, Ultra low angle incidence ion beam
- 刊行年月日
- 2019-03-07
- 更新時刻
- 2024-10-08 12:20:27 +0900