メタルレジストのEUV露光による反応メカニズム及び大気安定性

ジャーナル論文

著者

山下 良之 (author) (この著者で検索)

https://orcid.org/0000-0003-0994-8095

物質・材料研究機構 電子・光機能材料研究センター/機能材料分野/ナノ電子デバイス材料グループ

NIMS Researchers Directory SAMURAI

山下 良之

キーワード

メタルレジスト, EUV

刊行年月日

[2024年8月]

更新時刻

2024-12-02 16:31:00 +0900