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メタルレジストのEUV露光による反応メカニズム及び大気安定性
山下 良之
(電子・光機能材料研究センター/機能材料分野/ナノ電子デバイス材料グループ, 物質・材料研究機構
)
Collection
Citation
山下 良之.
メタルレジストのEUV露光による反応メカニズム及び大気安定性.
車載テクノロジー.
,
11
(11),
1-6.
https://doi.org/10.48505/nims.5069
Description:
(abstract)メタルレジストのEUV露光の反応メカニズムと大気中安定生に関して調べた結果を報告した。
Rights:
Date published: [2024年8月]
Publisher: 技術情報協会
Journal:
- 車載テクノロジー (ISSN: 24325694) vol. 11 issue. 11 p. 1-6
Funding:
Manuscript type: Author's version (Accepted manuscript)
MDR DOI: https://doi.org/10.48505/nims.5069
First published URL: https://www.gijutu.co.jp/doc/magazine/at_2024_08.htm
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Updated at: 2024-12-02 16:31:00 +0900
Published on MDR: 2024-12-02 16:31:00 +0900
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