Rapid homoepitaxial growth of (011) β-Ga ₂ O ₃ by HCl-based halide vapor phase epitaxy

ジャーナル論文

著者

Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)

https://orcid.org/0000-0001-8293-4891

NIMS Researchers Directory SAMURAI

Yuichi Oshima ;

Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)

https://orcid.org/0000-0001-8550-9735

NIMS Researchers Directory SAMURAI

Takayoshi Oshima

キーワード

Ga2O3, HVPE

刊行年月日

2025-12-31

更新時刻

2025-11-28 08:30:04 +0900