結晶の異方性を利用した酸化ガリウム半導体の微細加工技術

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Creator

大島 孝仁 (author) (Search by this author)

https://orcid.org/0000-0001-8550-9735

電子・光機能材料研究センター/機能材料分野/超ワイドギャップ半導体グループ, 物質・材料研究機構

NIMS Researchers Directory SAMURAI

大島 孝仁

Keyword

酸化ガリウム, 微細加工, 選択成長, 選択ガスエッチング

Date published

2024-11-30

Updated at

2024-12-05 08:30:36 +0900