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Visualization of threading dislocations in an α-Ga2O3 epilayer by HCl gas etching
- 論文
- 著者
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Yuichi Oshima
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Shingo Yagyu
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Takashi Shinohe
- キーワード
- α-Ga2O3, dislocation, etching
- 刊行年月日
- 2021-10-19
- 更新時刻
- 2024-01-22 09:38:31 +0900