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Halide vapor phase epitaxy of a thick c -plane α-Ga2O3 film on a high-quality α-Cr2O3/sapphire template
- 論文
- 著者
-
Yuichi Oshima
;
Takayoshi Oshima
;
Shiyu Xiao
;
Kazuto Murakami
;
Katsuhiro Imai
;
Takahiro Tomita
- キーワード
- Ga2O3, HVPE, Cr2O3
- 刊行年月日
- 2026-02-21
- 更新時刻
- 2026-02-18 16:30:15 +0900
Rapid homoepitaxial growth of (011) β-Ga 2 O 3 by HCl-based halide vapor phase epitaxy
- 論文
- 著者
-
Yuichi Oshima
;
Takayoshi Oshima
- キーワード
- Ga2O3, HVPE
- 刊行年月日
- 2025-12-31
- 更新時刻
- 2025-11-28 08:30:04 +0900
Epitaxial lateral overgrowth of α-Ga2O3 by halide vapor phase epitaxy
- 論文
- 著者
-
Y. Oshima
;
K. Kawara
;
T. Shinohe
;
T. Hitora
;
M. Kasu
;
S. Fujita
- キーワード
- α-Ga2O3, HVPE, ELO, dislocation
- 刊行年月日
- 2019-02-01
- 更新時刻
- 2024-01-29 16:48:15 +0900