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Epitaxial lateral overgrowth of α-Ga2O3 by halide vapor phase.pdf
Epitaxial lateral overgrowth of α-Ga2O3 by halide vapor phase epitaxy
論文
著者
Y. Oshima SAMURAI ORCID ; K. Kawara ; T. Shinohe ; T. Hitora ; M. Kasu ; S. Fujita
キーワード
α-Ga2O3, HVPE, ELO, dislocation
刊行年月日
2019-02-01
更新時刻
2024-01-29 16:48:15 +0900