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HfO2-Fig7-Work-20221213.pdf
Raw data files for Fig. 7 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
データセット
著者
OGIWARA, Toshiya (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
NAGATA, Takahiro (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
YOSHIKAWA, Hideki (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
Auger depth profiling analysis, HfO2/Si, Ultra low angle incidence ion beam
刊行年月日
2019-03-07
更新時刻
2024-01-05 22:12:25 +0900
HfO2-Fig8-Work-20220304-2.pdf
Raw data files for Fig. 8 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
データセット
著者
OGIWARA, Toshiya (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
NAGATA, Takahiro (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
YOSHIKAWA, Hideki (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
Auger depth profiling analysis, HfO2/Si, Ultra low angle incidence ion beam
刊行年月日
2019-03-07
更新時刻
2024-01-05 22:11:29 +0900
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