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べき乗則で解釈されるスペクトルの閾値及びべき乗数の自動解析方法
データセット
著者
柳生 進二郎
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https://orcid.org/0000-0002-9825-5719
物質・材料研究機構 電子・光機能材料研究センター/機能材料分野/ナノ電子デバイス材料グループ
NIMS Researchers Directory SAMURAI
柳生 進二郎
;
吉武 道子
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https://orcid.org/0000-0002-0973-5666
物質・材料研究機構 電子・光機能材料研究センター/機能材料分野/ナノ電子デバイス材料グループ
NIMS Researchers Directory SAMURAI
吉武 道子
;
長田 貴弘
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https://orcid.org/0000-0002-8591-2943
物質・材料研究機構 電子・光機能材料研究センター/機能材料分野/ナノ電子デバイス材料グループ
NIMS Researchers Directory SAMURAI
長田 貴弘
キーワード
threshold
,
Power Law
,
Automatic estimation methods
刊行年月日
2024-03-31
更新時刻
2024-04-26 16:30:10 +0900
Raw data files for Fig. 12 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
データセット
著者
OGIWARA, Toshiya
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https://orcid.org/0000-0002-7376-6571
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
OGIWARA, Toshiya
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NAGATA, Takahiro
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https://orcid.org/0000-0002-8591-2943
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
NAGATA, Takahiro
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YOSHIKAWA, Hideki
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https://orcid.org/0000-0002-7389-8865
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
YOSHIKAWA, Hideki
キーワード
Auger depth profiling analysis
,
HfO2/Si
,
Ultra low angle incidence ion beam
刊行年月日
2019-03-07
更新時刻
2024-01-05 22:13:20 +0900
Raw data files for Fig. 11 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
データセット
著者
OGIWARA, Toshiya
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https://orcid.org/0000-0002-7376-6571
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
OGIWARA, Toshiya
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NAGATA, Takahiro
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National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
NAGATA, Takahiro
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YOSHIKAWA, Hideki
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https://orcid.org/0000-0002-7389-8865
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
YOSHIKAWA, Hideki
キーワード
Auger depth profiling analysis
,
HfO2/Si
,
Ultra low angle incidence ion beam
刊行年月日
2019-03-07
更新時刻
2024-04-07 22:57:41 +0900
Raw data files for Fig. 10 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
データセット
著者
OGIWARA, Toshiya
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https://orcid.org/0000-0002-7376-6571
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
OGIWARA, Toshiya
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NAGATA, Takahiro
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https://orcid.org/0000-0002-8591-2943
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
NAGATA, Takahiro
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YOSHIKAWA, Hideki
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https://orcid.org/0000-0002-7389-8865
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
YOSHIKAWA, Hideki
キーワード
Auger depth profiling analysis
,
HfO2/Si
,
Ultra low angle incidence ion beam
刊行年月日
2019-03-07
更新時刻
2024-01-05 22:12:41 +0900
Raw data files for Fig. 9 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
データセット
著者
OGIWARA, Toshiya
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https://orcid.org/0000-0002-7376-6571
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
OGIWARA, Toshiya
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NAGATA, Takahiro
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National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
NAGATA, Takahiro
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YOSHIKAWA, Hideki
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https://orcid.org/0000-0002-7389-8865
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
YOSHIKAWA, Hideki
キーワード
Auger depth profiling analysis
,
HfO2/Si
,
Ultra low angle incidence ion beam
刊行年月日
2019-03-07
更新時刻
2024-10-08 12:20:27 +0900
Raw data files for Fig. 5 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
データセット
著者
OGIWARA, Toshiya
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https://orcid.org/0000-0002-7376-6571
National Institute for Materials Science
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OGIWARA, Toshiya
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NAGATA, Takahiro
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National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
NAGATA, Takahiro
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YOSHIKAWA, Hideki
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National Institute for Materials Science
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YOSHIKAWA, Hideki
キーワード
Auger depth profiling analysis
,
HfO2/Si
,
Ultra low angle incidence ion beam
刊行年月日
2019-03-07
更新時刻
2024-03-30 18:50:38 +0900
Raw data files for Fig. 6 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
データセット
著者
OGIWARA, Toshiya
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https://orcid.org/0000-0002-7376-6571
National Institute for Materials Science
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NAGATA, Takahiro
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National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
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National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
YOSHIKAWA, Hideki
キーワード
Auger depth profiling analysis
,
HfO2/Si
,
Ultra low angle incidence ion beam
刊行年月日
2019-03-07
更新時刻
2024-03-30 18:50:25 +0900
Raw data files for Fig. 7 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
データセット
著者
OGIWARA, Toshiya
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https://orcid.org/0000-0002-7376-6571
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
OGIWARA, Toshiya
;
NAGATA, Takahiro
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この著者で検索
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https://orcid.org/0000-0002-8591-2943
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
NAGATA, Takahiro
;
YOSHIKAWA, Hideki
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https://orcid.org/0000-0002-7389-8865
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
YOSHIKAWA, Hideki
キーワード
Auger depth profiling analysis
,
HfO2/Si
,
Ultra low angle incidence ion beam
刊行年月日
2019-03-07
更新時刻
2024-01-05 22:12:25 +0900
Raw data files for Fig. 8 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
データセット
著者
OGIWARA, Toshiya
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https://orcid.org/0000-0002-7376-6571
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
OGIWARA, Toshiya
;
NAGATA, Takahiro
(author) (
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https://orcid.org/0000-0002-8591-2943
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
NAGATA, Takahiro
;
YOSHIKAWA, Hideki
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https://orcid.org/0000-0002-7389-8865
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
YOSHIKAWA, Hideki
キーワード
Auger depth profiling analysis
,
HfO2/Si
,
Ultra low angle incidence ion beam
刊行年月日
2019-03-07
更新時刻
2024-01-05 22:11:29 +0900
キーワード
Auger depth profiling analysis
(8)
HfO2/Si
(8)
Ultra low angle incidence ion beam
(8)
Automatic estimation methods
(1)
Power Law
(1)
threshold
(1)
RDEメタデータ定義
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