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Scalable alloy-based sputtering of high-conductivity PdCoO2 for advanced interconnects
- 論文
- 著者
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Takayuki Harada
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Zuin Ping Lily Ang
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Yuki Sakakibara
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Takuro Nagai
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Yasushi Masahiro
- キーワード
- Interconnect, Thin films, Conductive material, Low dimensional materials, Electronic materials
- 刊行年月日
- 2025-06-02
- 更新時刻
- 2025-06-10 08:30:11 +0900