20.1 A 3.5×3.5mm² 1.47mW/ch 16-Channel MSS-CMOS Heterogeneous Multi-Modal-Gas-Sensor Chip Stack

論文

著者

Kotaro Naruse ; Naru Kato ; Takuma Matsumori ; Jun Shlomi ; Yoshihiro Midoh ; Tetsuya Hirose ; Gaku Imamura ; Genki Yoshikawa ; Constantine Sideris ; Noriyuki Miura

キーワード

gas sensor, CMOS, MEMS

刊行年月日

2025-02-16

更新時刻

2025-12-25 16:21:05 +0900