ファイル種別: application/pdf キーワード: 薄膜
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応物2023春（後藤）01092023.pdf
コンビナトリアルスパッタ成膜法によるMgSiSn系薄膜のナノ構造制御と熱電特性
口頭発表
著者
後藤 真宏 SAMURAI ORCID ; 佐々木 道子 SAMURAI ORCID
キーワード
コンビナトリアルスパッタ, ナノ構造, 熱電, 薄膜
刊行年月日
更新時刻
2024-12-13 12:30:41 +0900
296_304__02-03-07-01_再.pdf
薄膜材料のコンビナトリアル作製法と新規材料探索
書籍
著者
後藤 真宏 SAMURAI ORCID
キーワード
コンビナトリアル, 薄膜, スパッタ, マテリアルズインフォマティックス, デバイス, 材料探索, ハイスループット
刊行年月日
[2024年2月]
更新時刻
2024-08-26 12:30:27 +0900