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キーワード: 熱電
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コンビナトリアルスパッタ成膜法によるMgSiSn系薄膜のナノ構造制御と熱電特性
口頭発表
著者
後藤 真宏
;
佐々木 道子
キーワード
コンビナトリアルスパッタ
,
ナノ構造
,
熱電
,
薄膜
刊行年月日
更新時刻
2024-12-13 12:30:41 +0900
キーワード
コンビナトリアルスパッタ
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ナノ構造
(1)
熱電
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薄膜
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