ファイル種別: application/pdf キーワード: 熱電
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応物2023春（後藤）01092023.pdf
コンビナトリアルスパッタ成膜法によるMgSiSn系薄膜のナノ構造制御と熱電特性
口頭発表
著者
後藤 真宏 SAMURAI ORCID ; 佐々木 道子 SAMURAI ORCID
キーワード
コンビナトリアルスパッタ, ナノ構造, 熱電, 薄膜
刊行年月日
更新時刻
2024-12-13 12:30:41 +0900