ファイル種別: application/pdf 資源タイプ: 報告書 キーワード: 微細加工
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車テク202411-13 結晶の異方性を利用した酸化ガリウム半導体の微細加工技術.pdf
結晶の異方性を利用した酸化ガリウム半導体の微細加工技術
報告書
著者
大島 孝仁 (author) (この著者で検索)
物質・材料研究機構 電子・光機能材料研究センター/機能材料分野/超ワイドギャップ半導体グループ
ORCID SAMURAI
キーワード
酸化ガリウム, 微細加工, 選択成長, 選択ガスエッチング
刊行年月日
2024-11-30
更新時刻
2024-12-05 08:30:36 +0900