ファイル種別: application/pdf ライセンス: In Copyright キーワード: solid-state electrolyte
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ChemMater36_6139_2024.pdf
Effects of Plasma Reactants on Atomic Layer Deposition of Lithium Phosphate and Lithium Phosphorus Oxynitride Electrolyte Films
論文
著者
Tohru Tsuruoka SAMURAI ORCID ; Samapika Mallik ORCID ; Takuji Tsujita ; Yuu Inatomi ; Kazuya Terabe SAMURAI ORCID
キーワード
atomic layer deposition, lithium phosphate, lithium phosphorus oxynitride, solid-state electrolyte, plasma reactant
刊行年月日
2024-06-25
更新時刻
2025-06-25 08:30:22 +0900