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Simulation-Based Investigation of Curtain Gas Effect on Metal-Organic Chemical Vapor Deposition Growth of Two-Dimensional Transition Metal Dichalcogenides
- 論文
- 著者
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Feng Zhang
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Fanyu Zeng
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Daichi Kozawa
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Ryo Kitaura
- キーワード
- 2D materials, Finite Element Method, Chemical Vapor Deposition
- 刊行年月日
- 2024-07-17
- 更新時刻
- 2025-07-08 08:30:18 +0900