Keyword: ナノ構造

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PN32_BIC_KWatanabe_MDR.docx
自由空間からアクセス可能な高Q値ナノ構造の開発に成功
Journal article
Creator
渡邊 敬介 (author) (Search by this author)
ナノアーキテクトニクス材料研究センター/半導体材料分野/ナノ光制御グループ, 物質・材料研究機構
ORCID SAMURAI ;
長尾 忠昭 (author) (Search by this author)
ナノアーキテクトニクス材料研究センター/半導体材料分野/ナノ光制御グループ, 物質・材料研究機構
ORCID SAMURAI ;
岩長 祐伸 (author) (Search by this author)
電子・光機能材料研究センター/光学材料分野/ナノフォトニクスグループ, 物質・材料研究機構
ORCID SAMURAI
Keyword
ナノ構造, メタサーフェス, BIC, シリコン, センサ, Q値
Date published
[2025年7月]
Updated at
2025-11-12 16:30:14 +0900

応物2023春(後藤)01092023.pdf
コンビナトリアルスパッタ成膜法によるMgSiSn系薄膜のナノ構造制御と熱電特性
Conference presentation
Creator
後藤 真宏 (author) (Search by this author)
国際ナノアーキテクトニクス研究拠点/ナノマテリアル分野/熱エネルギー変換材料グループ, 物質・材料研究機構
ORCID SAMURAI ;
佐々木 道子 (author) (Search by this author)
国際ナノアーキテクトニクス研究拠点/ナノマテリアル分野/熱エネルギー変換材料グループ, 物質・材料研究機構
ORCID SAMURAI
Keyword
コンビナトリアルスパッタ, ナノ構造, 熱電, 薄膜
Date published
Updated at
2024-12-13 12:30:41 +0900