資源タイプ: ジャーナル論文 キーワード: Buffer
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【正式版】Advanced Physics Research - 2026 - Kawamura - An Advanced Epitaxial Strategy Enabling Vertical GaN Devices on Silicon.pdf
An Advanced Epitaxial Strategy Enabling Vertical GaN Devices on Silicon Wafers
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ;
Takeyoshi Onuma (author) (この著者で検索)
; ORCID SAMURAI
キーワード
GaN on Si, Epitaxial, Buffer, Sputtering, MOCVD
刊行年月日
2026-05-29
更新時刻
2026-09-17 13:05:42 +0900
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