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表面電子分光法における電子の非弾性平均自由行程（IMFP）を簡便に計算するための手法として，簡易単極近似（SSPA）を導入し，その有効性について解説する．SSPAは，従来のPennによる単極近似（SPA）をさらに簡略化した手法である．SSPAに基づいてエネルギー損失関数（ELF）から計算したIMFPは，41元素においてFPA（full Penn algorithm）およびSPAによる結果と比較すると，300 eV～10 keVの範囲において良好な一致を示した．特に，分散式中の係数 𝛼 を0.4167 とした最適化SSPA では，FPA との平均相対差が3% 以下であり，実用的にも十分利用可能である．また，MathematicaによるSSPA-IMFPの実装方法や分散式の係数の最適化計算の手順についても詳述し，読者が再現可能な計算環境についても解説した．

Rights:

• In Copyright
  

  © 2025 The Surface Analysis Society of Japan

Keyword: 表面電子分光, 非弾性平均自由行程, 簡易単極近似, Full Penn algorithm, 誘電関数

Date published: 2026-04-26

Publisher: Surface Analysis Society of Japan

Journal:

• Journal of Surface Analysis (ISSN: 13411756) vol. 32 issue. 1 p. 2-20

Funding:

Manuscript type: Publisher's version (Version of record)

MDR DOI:

First published URL: https://doi.org/10.1384/jsa.32.2

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Updated at: 2026-05-22 13:47:19 +0900

Published on MDR: 2026-05-22 16:29:10 +0900