SUMIYA, Masatomo
(National Institute for Materials Science
)
説明:
(abstract)The surface oxidation behavior of different GaN surfaces (the polar Ga-face (+c) and the nonpolar m-plane) under H2O vapor ambient was studied by continuous real-time monitoring of the O 1s core X-ray photoelectron spectra generated under synchrotron radiation. XPS measurements were performed at BL23SU, SPring-8. The O 1s core spectra were continuously obtained with about 30 s per scan at a binding energy of 538 to 525 eV. The first column of each scan is the binding energy, and the second column is the count rate. The data are in CSV and VAMAS formats. See the linked paper for experimental details.
データの性質: other
権利情報:
Creative Commons BY Attribution 4.0 International
キーワード: GaN, Gallium nitride, Surface oxidation, Oxidation, MOS structure, XPS, SPring-8
刊行年月日: 2022-12-31
出版者: NIMS
掲載誌:
研究助成金:
原稿種別: 論文以外のデータ
MDR DOI: https://doi.org/10.48505/nims.3848
公開URL: https://doi.org/10.1080/14686996.2022.2052180
関連資料:
その他の識別子:
連絡先:
更新時刻: 2024-01-05 22:11:14 +0900
MDRでの公開時刻: 2023-02-14 09:41:47 +0900
Specimen ID / 試料ID :
Description / 化学組成の説明 : Gallium nitride
Category / カテゴリ :
Category description / カテゴリの説明 :
Chemical composition ID / 組成ID : 25617-97-4
Name / 装置の名称 : BL23_XPS
Manufacturer / 装置製作者 :
Model number / 型番 :
Description / 装置の説明 :
Function / 機能 :
Function description / 機能の説明 :
Instrument ID / 装置ID :
Instrument operator / 装置操作者 :
Instrument managing organization / 装置管理組織 :
Description / 説明 :
Category /
カテゴリ
:
X線光電子分光法
Category description / カテゴリの説明 :
Analysis field / 解析分野 :
Analysis field description / 解析分野の説明 :
Measurement environment / 計測環境 :
Standarized procedure / 標準手順 :
Measured at / 計測時刻 :
| ファイル名 | サイズ | |||
|---|---|---|---|---|
| ファイル名 |
cGaN_H2O.zip
application/zip |
サイズ | 11.1MB | 詳細 |
| ファイル名 |
mGaN_H2O.zip
application/zip |
サイズ | 12MB | 詳細 |
| ファイル名 |
GaN_H2O.jpg
(サムネイル)
image/jpeg |
サイズ | 432KB | 詳細 |