# Fileset

[NIRIM0032.pdf](https://mdr.nims.go.jp/filesets/f864f0a8-8c1d-4bec-b90b-b6ecdd495ea7/download)

## Creator

無機材質研究所

## Rights

In Copyright[In Copyright](http://rightsstatements.org/vocab/InC/1.0/)

## Other metadata

[複合酸窒化けい素に関する研究 1982 科学技術庁 無機材質研究所研究報告書第32号](https://mdr.nims.go.jp/datasets/3d8cee39-6385-4941-b50b-c43855153e1b)

## Fulltext