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無機材質研究所

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[無機材研ニュース第95号](https://mdr.nims.go.jp/datasets/ec2b6de2-6c51-4287-9f7e-a8d1372db6d6)

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無機材研ニュース第95号七〇一．ゼEoo．一0E蜆E0一垣o］1oo．o0＝あ○蜆oo、］o．Eo一垣oo］10’0E0上oo○眈o〇一10－〇一眈○眈餉Eo．但≧里三…ω…Z－o○餉］○工←第95号 昭和60年12月400kV高分解能分析電子顕微鏡　分析電子顕微鏡は，透過型電顕（TEM）の鏡体にエネルギー分散型X線検出器や電子線エネルギーアナライザーなどの分析アタッチメントを取り付け，電顕観察を行いながら局所部の元素分析，構造解析や結合状態分析を行なう装置である。最近は，セラミックスをはじめとした材料の微細構造解析手段として盛んに利用され始めている。　しかしながら、既存の分析電子顕微鏡は入射電子の加速電圧が100kVか200kVかの低電圧であることから，装置の性能に大きな欠点があった。それらの主な点を列記すると，　1．TEMの分解能が悪い。分析電子顕微鏡では分析アタッチメントをイ並口した事によつ，対物レンズの球面収差が高分解能専用型に比べて大きくなつ，分解能が著しく低下する。たとえば，200kVの高分解能電顕（JEM＿200CX）の点分解能が2．3Aであるのに対して，同電圧の分析電顕の分解能は4．5Aである。　2．元素分析時の検出感度，すなわちピークとバックグランドの比（P／B）が小さい。この為，微量成分元素の分析が難かしい。　3．分析可能な最小頒域幅（これを空間分解能という〕が大きく，極微小領域の分析が困難である。　上記の1）から3）の観察機能は一般に加速電圧の増大とともに向上する事が期待される。こうした観点から，加速電圧を400kVに高電圧化した高分解能型の分析電子顕微鏡（JEM－4000EX）を昭和59年3月に当所に設置した。本稿では，当所に設置された400kV分析電子顕微鏡の特徴について，特に上記1）から3）の性能が加速電圧の増大によつどのように改善されたのかを中第3研究グループ　主任研究官　板東義雄（第1！研究グループ主任研究官　松井良夫，技術課　北見喜三）心に紹介する。　1．高分解能化　TE　Mの理論分解能は近似的に次式が与えられる。　　　d＝O．65Csユ／4λ3／4　ここでCsは対物レンズの球面収差係数，λは電子の波長である。分解能を向上させるにはCsの小さい高性能電子レンズを用いることと，入射電子のエネルギーを増大させることである。　400量V分析電顕の分析用対物レンズの球面収差及び色収差係数は400kVにおいて，3．3㎜，2．6㎜である。入射電子ビームの開き角を1mrad，LaB6電子銃のエネルギー幅を！．5eVとして，最適撮影条件での理論点分解能を計算すると，点分解能O．23㎜が達成されていることが明らかとなった。　図1は400kV分析電顕で撮影されたSiC（6H型の多形）の結晶構造像である。写真中SiC4四面体が黒点に，四面体問の空隙が白点に対応する。図中の計算像は実験像と非常に良い一致を見ている。黒点の配列はC軸方向に1．5ユnmの周期で，…CABC’B’A℃…の積層から成ることが写真から容易に読み取ることができる。今回観察された電顕像のコントラストは，過去にlMeVの高分解能電顕を用いて撮影されたものと近似的に等しく，本装置が高分解能観察にも十分遭した分解能をもっていることが実験的に証明された。2．分析機能の拡大2．1　ED　S分析エネルギー分散型X線分光法（EDS）は，試料か（1）　　　　　　　　　図1　400kV高分解能分析電子顕微鏡（JEM－4000EX）で撮影された　　　　　　　　　　　　6H－SiCの結晶構造像。図中は計算像。ら発生した特性X線を半導体X線検出器により波高分　　素程大きく，また加速電圧による効果は逆に原子番号析し，試料の局所部の化学組成を分析する技法である。　　の大きい元素程顕著である点が特徴的である。特性X線スペクトルピークの強度とバックグランド強度の比，すなわちP／B比は定量分析の精度や微量成　　　　2．2　EELS分析分の検出を決定する重要な因子であり，できるだけ大　　　電子線エネルギー損失分光（EELS）は，試料を透きい値が塑ましい。P／B比を増大させるには，バックグランド強度を減少させることである。バックグランドは主に制動輻射（Bremmsstrahlung）と鏡体からのX線ノイズに起因する。制動輻射による強度は加速電圧に逆比例するので，高電圧化する程減少する。一方，鏡体からのX線ノイズは高電圧に伴ない増大する傾向にあるので，そのX線シールド対策が技術的に重要である。本装置では，Pbなどの重金属板を数ヶ所にそう入し，ハードX線の発生を極力に押えるとともに，対物レンズのポールピースをグラファイトでカバーすることによりX線のシールド対策を行った。その結果，P／B比を増大させることに成功した。　図2はAl，Ge，Agの蒸着膜試料（厚さ100nm）にユnA電流の電子プローブ（約1ミクロン直径〕を照射した時に発生した特性Kα線のP／B比を，100kVから400kVの電圧範囲で測定した結果である。P／B比は電圧の増加とともに連続的に増大する。その値は400kVで，460（A1），178（Ge），38（Ag）で，100kVの値と比較すると，1．7倍（Al），2．3倍（Ge），3．8倍（Ag）だけ大きい。P／B比の絶対値は原子番号の小さい元図210．0E冒b一星、げ二“｛1dAユ㎞GoK“AOK“100　200　300　‘00　　Aoo．“V）E　D　SスペクトルでのAl，Ge，AgのKα線のピークとバツクグランドの比（P／B）の加速電圧による変化。P／B比は電圧とともに連続的に増大する。（2）過した非弾性散乱電子のエネルギF損失量をエネルギーアナライザーにより分析し，試料の局所部の化学組成や結含状態を解析する技法である。EELSはEDSに比べて軽い元素に対する検出効率が大きいなどの利点をもつが，数胃A以下の薄膜試一料でないと分析が雛かしいなどの闘題がある。一般に葡王が増大すると，非弾性散乱電子の平均自由行路が長くなつ，多璽散乱の影響が減少する。従って，より厚い試料の分析が可能になると期待される。さらに，電圧が増大すると非弾性散乱電子の散乱角が減少するので，エネルギーアナライザーこ入射する電子の強度が増大し，内殻励起吸収端のP／B鈍が増大すると予想される。　図3は非晶質Siと単緒晶BNをEELSで分析した時の各々の吸収端のP／B比の電圧による変化を示したものである。SjのK殻吸収端のP／B比はユ00kVの2．8から400kVの4．6と約1．6倍増大する。他の吸収端ピークについても圃様にP／B比は電圧とともに増大する。　2，3　空間分解能　加遼電圧が増大すると試料中の電子プローブの広がりが滅少するので，EDSやEELS分析の空閥分解能は肉上することが期待される。図4はMgTi03母梢中に析出したTi02界面の近傍を約4nm薩径の電子プローブを照射して，発生した特性x線の強度比（Mg／T1）を測定したものである。試料の厚さは約80nm。図から，EDS分析の空閥分解能が100kVの43到oqから，堪00註Vで！7訂mへと向上することが明らかとなった。ω、ooooε、2島マ豊8100　　　200　　　300　　　400＾‘‘61erofi11g、’oIfogo　炊V，図3　EELSスペクトルでの内穀励起吸収端のP／8　　　比のカ買速電圧の依存性。P／B比は電圧ととも　　　に増大する。　以上，図！から図途に示したように，カI1燧電圧を400kVに高電圧化した事によつ，T　EMの分解能，El⊃SやEE　LSの分析機能や空間分解能が箸しく絢上することが明らかとなった。分析電顕の禽分解能化の笑現の緒果，高分解能観察と局所元素分析の観察が同一の装置で併用実験できるようになった。400kV商分解能分析電顕は，末知物質の組成や構造の決定をはじめセラミックスの微構造の解析に今後大いに利用されていくであろう。←もΣ02図4　εD　S分析での窒間　　　分解能の測定。　　　100kVで窒間分解能　　　が43nm，400kVで　　　17nm。試料の厚さ，　　　80nm。εα4言Σ　α2 →ドm100kV（3）マックスプランク粉末冶金研究所に滞在して第3研究グループ　主任研究官　田中英彦　1984年7月から85年6月までの1年間，西ドイツマックスプランク粉末冶金研究所に客員研究員として滞在した。マックスプランク研究所の組織は西ドイツ各地と近隣国に点在する50の研究所から成っている。これらは主に自然科学と医学であるが文化系の研究所もある。私は南ドイツのStuttgart市に滞在したのだが，ここには金属と固体物理の2つの研究施設があり，前者は材料科学研究所と物理研究所に分かれていた。さらに私は材料科学研究所の中の粉末冶金研究所に所属した。その正式の名称は“Max－P1anck－Institutf凸r　Metanforschung，Institut砧rWerkstoffwissen－schaften，Pulvermeta11urgischesLaboratorium（PMLと約す）と言う。所長は金属物理とセラミックスの分野で高名なPetzow教授である。所は20名程の研究員，十数名の博士課程の学生，7～8名の外国からの客員教授，研究員，学生に秘書と技術員，総勢80名ほどから構成されていた。研究員は学生を指導し，2～3名の技術員と伴に各自の研究を進めていた。　PMLは本来金属冶金の研究所であるから，設備の大半は金属に関連したものであった。W，Ta，Nbなどの高純度金属の合成やWの焼結が精力的に行なわれていた。W＿NiまたはW＿Cu系の焼結では新しい液相焼結のモデルが提案され注目された。ここはBe金属の処理設備を持つことで知られるが，Be合金の相関係などの研究はPMLならのものと言える。私が来所した当初，Be金属用の新設されたFZ炉がBe単結晶を作つ出しており，大きな成果を上げていた。さらに，金属合金の平衡の計算および実験はPMLにおける金属研究のもう一つの特色である。Fe－Co－Va系やAg－Cu－Cd系の平衡図は中でもよく知られている。電算機による相平衡の計算はセラミックスにも応用され興味が引かれた。例えば，Si－N－C一○系やSi－C－A1－B系等の筆者の感心が深い系について詳細に反応や安定相の計算結果が得られていた。それらはよく実験結呆を説明していた。　研究所におけるセラミックスの研究はジルコニア系材料とサイアロン材料に代表される。Claussen博士はジルコニア粒子分散強化材料の発見者として知られるが，酸化物セラミックスグループのチーフをしていた。ここ数年来の彼の精力的な仕事と同僚であるROh1e博士による電顕観察の結果は相転移強化メカニ　一㌧’Stuttgart市の郊外にあるマックスプランク研究所。左側が粉末冶金，右は固体物理研究所。ズムを明らかにしつつある。博士の下には3人の学生と2～3人の研究生がいてジルコニア粒子分散材料の研究を進めており，粉体プロセスと焼結，組織と強度等の具体的テーマを検討していた。現在，博士は昇任されHamburg－Harburg工科大学を併任され，居をHamburgに移された。　非酸化物セラミックスグループはGrei1博士によって運営され，4人の学生を指導していた。対象は主にサイアロン系材料で，相平衡の実験，粉体および焼結プロセス，新材料の開発とテーマは多岐にわたっていた。しかし，基本的な研究方針は相平衡の解明とそれに基づく材料開発であった。例えぱ，サイアロン系材料ではその粒界第2相が強度などの性質に影響を与えているが，その組成変化，粒界ガラス相の結晶化などについて相平衡（関係）から定量的な議論が行なわれていた。さらにその結果は焼結助剤の選択，材料の開発への有力な武器となっていた。　筆老はGTei1博士と共同し，Si3N仁SiC複合材料の常圧焼結とHIPをテーマに新材料の開発を行なった。この研究の目的は，Si3N4マトリックスにSiC粒子を分散させ高’強度化を計ること，複合材料の常圧焼結の可静性とHIPの有効性を調べることであり，Si3N4とSiC接合界面の分析であった。実験は多くの研究者の協力が得られてスムーズに進んだ。　セラミックスの研究開発は西ドイツでもブームで，産業界の寄せる期待は大きいと感じた。そして，国が指導するプロジェクト｝自動車用セラミックタービン（4）エンジンの開発”は第2期が試作エンジンによる通常運転と言う成果をもって終，），研究諸は自僑を深めていた。今は第3期に入り，産業界に広くセラミックスを庵用しようとしている。このような中でPMLではセラミックス専用の研究施設を新設し，今の研究所と同規模の組織を作ろうとしていた。近い将来，St鮒gartは西ドイツのセラミック研究の中心になるかも知れない。PMLと無機材研の交流が深まることを願う次第である。　最後に簸者を客員研究員として紹いていただいたPetzow所長に深く感謝いたします。外部発表※　投　　　　稿磯乗番号 題 園 発　　　表 者 掲 載芸k一螂甘等1492 Deuterium　Retention　in　TiC　Crystais 佐藤健太郎・ 山口 貞衛J． Nuci． Mat、Prepared　by　Chemicai　Vapor　Deposition 藤野 豊・ 平林 真 ユ28＆王29， 698， ユ984and　Floating　Zone　Methods 櫓本 洋・小沢 国夫大谷 茂樹！遁93 Rietve1d　Vefinements　for　Calci口m　and 泉 禽士夫・三友 護J．Mat． Sci．Yttrium　Containingα一Sialons 板東 義雄・ ユ9， 31ユ5， 工9841雀9違 非酸化物セラミックスの研究 三友 護 PC　Report2， 王1， 8， 198堪1495 Therma1Conduct三vity　ofα一Siaion 三友 護 魔崎 尚登J．M銚． Sci． Lett．Cera醐ics 三橋 武文 3， 915， ユ9841496 Spinoda三Decomposition　in　Ti02・Sn02 堀内 繁雄 泉 禽士夫 Phi1osophical　Magazine　AStudied by　l　MV　HRTEM 菊地 武 内囲 健治 50，6， L29， ユ9841497 Mossbaner　Study　of　Magnet1c　Order1ng 田申みどり 自鳥 糸己一 J．Phys． Soc． Japanin　a　TTiangu－aT　Spin　Syste互D＝ RFeM04 潜塚 昇 53，玉2，姐！3， 198毎1498 Development　of　Microstrほcture　during 池上 隆康 守書 佑介 窯業協会誌Interrnediate－and　F…na！一Stage　of 92， ユ2，728， 1984Sintering！499 バナジウム複硫化物の陽イオン分布 野崎 浩司 日本縞晶学会誌26， 220， 1984ユ500 サイアロンセラミックス 三友 護 イヒ学工業1月号， 3玉， ユ985！501 Phase　Relations　in　the　System 小野 晃 Bu11． Chern． Soc． JPn．NH4Ti2P3012－N肌Zr2P30…2 58， 38ユ， ユ985ユ502 Diffusiona…Creep　in　Sintered　Silicon 田申 英彦・ 猪股 吉三 窯業協会誌Carbide 93， 1， 進5． 1985ユ503 （Ba，Pb）Ti03の合成と綴成変動の検討 掛川 一幸・毛利 奉屯一 日本化学金誌千葉 俊一・ 自蕎 信一 1，9， 1985商橋紘一郎1504 人工褐’・ 歯とバイオテクノロジー 牧島 亮勇 臼本の科学と技術26， 231，珪0， 19851505 更ePly　on　D量rect　Obserrasion　of　Crack 友沢 稔・ 板東 義雄J、Amer． Ceram． Soc．Tip　Geoηaetry　of　Si02Glass　by冊gh 伊藤 節郎 67， 王1， C－254， 1984Reso1ution　Electζon　MiαoscoPy1506 精密加工技術の高度化を目指して 遠藤、恕、 日本の干斗学と披術26，23玉，55， 19851507 Reaction　in　the　System　N（CH3）｛一Zr02一 木島 剛・ 矢島 キ羊行 Bu1l． Chem、 Soc． JPn．P205－H20． Preparation　and　Characteri一 58， 2， 570， ユ985zation　of　Framewor失Zirconium Phos一phate（NN4）兀弛一κZr2（PO珪）3 and EZr2（P04）3玉508 Co醐ment On ‘‘Specrroscopic　Evidence 藤森 淳 Phys．Rev． Lett．for　Loca1ized　and　Extended　F－SymmetryStates　in　Ce02”53， 26， 25玉8， ユ984（5）魏暴番号 題 目 発　　表 者 掲 載 誌 等1509 フラッシュ法によるセラミックスの熱特性 三橋　武文 先端技術ハイライトの掘淀 玉7号，玉，ユ985！510 Irradiation　of　Atomic　Hydrogen　on　TiC 大石 健司・熊代 幸伸 J．Nuc！ear．Mat．Surfaces 藤森 淳・ 宇佐芙誠二 ユ28＆129，934．1984151！ TiC単結晶の電界放射電子のフラッシング 安達 洋・藤井 溝 真空温度依存性 財満 鎮明・榮圖 幸男 27，8，658，ユ98雀大谷 茂樹1512 Mechanism　of　Eiectron　Exchange 左右蘭龍太郎・脊野 j］三和 Surf．Sci．Lett．between　Low　Energy　Re＋and　Soiid 大島 忠平・大谷 茂樹 150， L59，ユ985Surfaces 石沢 芳夫15！3 商輝度電子源としてのLaB6，TiC単結晶 石沢 芳夫一田申 高穂 エレクトロニクス用緒晶材料大谷 茂樹 の精密力日工技術第8節，n6，玉98515！4 互Cマスクと材料 牧島　亮男 シーエムシー1月号，第2章，80，ユ9851515 ニューセラミックスの研究開発の現状 長谷川安利 ファインセラ1516 機能性ガラスとは 牧島 機械の研究一機械技術者のために一 37，3，39．19851517 Bioceramics 門間　英毅 Proc．the　First　Korea－Japa王一生体材料Apatite一 Seminar　on　New　Ceramics15！8 価数揺動状態の光電子分光 藤森　　淳 フォトン・ファクトリー・ニューフ1519 Preparat三〇n　and　Properties　of　the　New 小野 晃・潤村富士夫 BuiL　Chem．Soc，JPn．High　Pressure　Phaseβ一Zr（○H）P04 58，3，ユ05ユ，玉9851520 Dislocations　in　MgO 守吉　佑介・池上 隆康 Adv．Ceram．玉O，258，ユ984！521 Lifet三mes　of　Bound　Excitons　in　CdSe 南　不二雄・江良 暗 Sol．Sをa．Commun．53，2，ユ87，王9851522 Therma1Aiteration　of　Succirate－Com・ 門間　英毅・後藤 優 J．Mat．Sci．Lett．p1exed　Octaca1cium　Phosphate 4，！47，ユ9851523 Magnetjc　ProPerties　of　Lu2Fe307 杉原 一ポ自薦 紀一 J．Phys．S㏄．Japan君塚 昇・飯蘭 潤治 54，3，ユ！39．1985広吉 秀俊・申川 康昭152堪 高強度セラミックス 猪股 吉三． 化学教育一はさみからエンジンまで一 33，ユ，29．19851525 セラミックスの格子欠陥 池上 隆康・守吉 偽介 ヨエマテリアル焼緕　一その1一 2，7，54，王9841526 Piotter－Drawing　of　Print－Ready　Twin カ弧藤　克夫 N．Jb．Mneζ、Mh．Figures H，2，92，198填1527 Differences　between　μ101and｛21！＃ 北村　健二・木村 茂行 J．Cryst．Gmwt虹Facets　of　Vare－Earth　Garnets　Grown 樋口　幹夫・抑切 利広 69，537．1984from　the　We1t　and　their　Formation 小松　　啓Mechanismes1528 無機・有機複含ホスト 木島　　岡1 PetrOteCh8，4，ユ8，ユ9851529 We1mefine1Super1attice　Stmctures 坂本　続徳・太臼ヨ 公広 Super1attices　and　Micro・Made　by　Phase－Locked　Epitaxy　using 板東　義雄 StruCtureSRHEED互ntensity　Osci－1ations ユ，4，3垂7．19851530 Tetracaesium　Divanadate　Dihydrate， 加藤　克夫・室町 英治 Acta　Cryst．Cs4V202・2H20 C4ユ，163，王985！531 Optimun　Angie　of　Defiection　l≡二1ectrodes 大島 忠平・左右蘭龍太郎 Rev．Sci．Instrびm．of　a　Cyhndricai剛ectros亡a亡ic　Ana1yzer 青野　正和・石沢 芳夫 56，2，227，ユ985！532 The　Relative　Stabi1ities　of　Bi2Mo06 小玉　博志・渡辺 昭輝 J．Soi．Sta．Chem．Po1ymorphs 56，225，ユ985Proc　the　Flrst　Korea－Japa打ファクトリーニュース（6）登録番号 題 目 発　　表　　者 掲　載　誌　等1533 57Fe　M6ssbauer　Study　of　Synthetic 赤坂　正秀・大橋 晴夫 Phys．Chem．Minera1sFe3＋一Melt1ites 12：13．19851534 セラミックスのキャラクタリゼーション 三友　　護・板東 義雄 機能材料一構造用セラミックスのキャラクタリゼー 6月，52．1985ションー1535 層状構造をもつYbFe204型化合物について 君塚　　昇 白鳥 紀一 日本結晶学会誌26，334，ユ9841536 High－Reso1ution　E1ectron－Microscopy 松井 良夫十　一板東 義雄 Acta　Cryst．Study　of　Irradiation－Induced　Defects 北見 暑二 R．S．Roth B41，27．1985in　theβ…Phase，of　Potassium　Ferrite1537 X線および中性子回折図形のRietve1d 泉　富士夫 日本結晶学会誌解析システム 27，23，ユ9851538 Field　E1ectron　Emission　Properties　of 藤井　　清 財満　鎮明 J．App1．Phys．TiC　Sing1e　Crysta1s 安達　　洋 大谷　茂樹 57，5，ユ723，ユ9851539 Bioceramics 門間　英毅 Proc．1st　Korea－Japan一生体材料　Apatite一 Seminar　on　New　Ceramics472．19841540 Phase　Diagram　of　Ti－S　System 佐伯　昌宣 小野田みつ子 Proc．6th　Inter．Symp．“High－Purity　Mat．in　Sci．Tech．”204，ユ9851541 Norma1Sintering　of　Al－dopedβ一SiC 田中　英彦・猪股　吉三 J．Mat．Sci．Lett．原　　和久・長谷川晴久 4，315．19851542 合成サイアロン粉末の焼結性 三友　　護・塩見　達也 窯業協会誌吉松　英之・堤　　正幸 93，2，69．19851543 アルコキシドによるPb（Zr，Ti）03の合成と 掛川　一幸・毛利　純一 日本化学会誌組成変動 今井　　賢・白嵜　信一 4，692，ユ985高橋紘一郎1544 チタン酸カリウム繊維の特性と自動車への 藤木　良規 自動車研究応用 7，6，227．19851545 X線および中性子回折図形のRietveld 泉　富士夫 鉱物学雑誌解析 17，ユ，37．19851546 Oxygen　Diffusion　in　Sing1e　Crystal 羽田 肇・宮沢　靖人 J，Cryst．GrowthYttrium　A1uminum　Gamet 白嵜 信一・ 68，2，581．19841547 Oxygen　Self－Diffusion　in　Sing1e　Crystal 羽田 肇・山村　　博 J．Am，Ceram．Soc．Mn－Zn　Ferrite 渡辺 明男・白嵜　信一 68，2，C－53，ユ9851548 Comp1exation　of　CopPer（皿）一Montmori1lo㎡te 木島 剛・小林美智子 J．Inc1usion　Phenomenawith　a　Modified　Cyc1odextrin 松井 佳久 2，807．19841549 Preparation　of　Barium　Titanate　by　Oxa一 山村 博・渡辺　明男 Ceram．Inter．1ate　Method　in　Ethanol　So1ution 白嵜 信一・守吉　佑介 11，1，17．1985棚田 正英1550 Complexes　of　Apatitic　LayeredCompomd 門間 英毅・後藤　　優 J．Inc1usion　PhenomenaCa8（HP04）2（P04）4．5H20with 2，127，ユ984Dicarboxy1ates研　　究　会　ユO月7日　第7回高融点化合物研究会が「①電界放射顕微鏡による触媒作用　②炭化チタンフィールドエミッターの電子放射特性」の議題で開催された。　10月2ユ日　第32回結合状態研究会が「低速陽電子を用いた研究」の議題で開催された。　10月29日　第2回金属硫化物研究会が「表面物性及び触媒作用と金属硫化物」の議題で開催された。　ユO月30日　第8回高融点化合物研究会が「プラズマ（7）エッチングプロセスにおけるイオン衝撃による表面変化」の議題で開催された。　10月31日　第ユ1回炭化けい素研究会が「結晶表面の原子ClOudSの動的観察の議題で開催された。　11月6日　第16回チタン酸塩研究会が「イオンの水和状態について」の議題で開催された。　ユ1月ユ8日　第12回炭化けい素研究会が「ジルコニアシリングについて」の議題で開催された。　11月19日　第8回電気光学結晶研究会が「酸化物の欠陥構造と電気材料特性（ペロブスカイトなど）」の議題で開催された。　11月21日　第5回酸化ビスマス研究会が「①NbCにおける散漫散乱と欠陥構造　②PSZ（部分安定化Zr02）の電気伝導度」の議題で開催された。　11月27日　第13回炭化けい素研究会が「ベリリアの変形，TEMによるその場観察」の議題で開催された。外国出張　第9研究グループ主任研究官牧島亮男は，　「新種ガラス，非晶体の研究開発に関する調査及び日米研究協力の可静性の調査」のため，アメリカ合衆国へ昭和60年10月13日から昭和60年11月11日まで出張した。　第3研究グループ主任研究官三友護は，「セラミックスの焼結に関する研究討論」のため，大韓民国へ昭和60年10月ユ5日から昭和60年10月23日まで出張した。　第7研究グループ主任研究官小松優は，　「希土類金属イオンの分離に関する研究」のため，アメリカ合衆国へ昭和60年10月2ユ日から昭和61年10月19日までの予定で出張した。　第8研究グループ主任研究官神田久生は，　「高温・高圧下での無機材料の合成に関する研究」のため，アメリカ合衆国へ昭和60年10月29日から昭和61年ユO月28日までの予定で出張した。　第1研究グループ研究員羽田肇は，「耐放射線性原子力産業用材料に関する研究」のため，フランス国へ昭和60年ユ1月3日から昭和61年ユ1月2日までの予定で出張した。外国人の来所下記の外国人の訪間があった。9月11日　劉　定千他4名　中国科学院9月18日　楊　壁瑳他4名　中国有色金属公司10月3日　王　林他2名　中国機械工業部鄭州磨具磨　　　　　斉■」研究所10月3日　Mr．Geoff　Deeham英国BBCプロ分一サー1O月ユ2日　鄭　志明他1名中国科学院高能物理研究所10月ユ9日　George　S．Hammond米国アライド社10月25日　Mr．Jose　Ignacio　Goenaga　Lubier他ユo名　　　　　スペインバスク地方の調査団ユO月25日　周　而宴他5名　中国人民対外友好協会代　　　　　表団10月25日　Prof．John　Hanet米国Desert　Research　　　　　Institute　Atmospherie　Science　Center10月28日　Prof．J，Bovin　スウェーデンランド大学10月30日　Dr．F㎡dusV出ema他6名　オランダゾー　　　　　リンゲン大学ユ1月7日　Dr．Wi11em　Vedder米国GE杜マネージャー11月12日～13日　Dr．T．WユiteオーストラリアAAEC11月13日　J．Castaing他1名　フランスCNRS材料　　　　　物理研究所1ユ月I8日　A1ex　Jost　スイス　シントン社ユ1月19日　W．D．Ki㎎ery米国マサチューセッツエ科大学11月19日　D．Miche1フランスパリ大学1ユ月21日　日韓セラミックセミナーメンバー第13回 無機材質研究所研究発表会開催される　第13回無機材質研究所研究発表会は，1！月28日（木）筑波研究学園都市・研究交流センターで180名を越える参加者を迎えて開催された。　まず，後藤優所長のあいさつの後，「希土類けい酸塩ガラスに関する研究」及び「りん酸ジルコニウムに関する研究」の発表が行われ，次いで午後には「超高圧力技術に関する研究」及び「超高温耐熱セラミックスの研究開発」の発表が行われた。　最近の干■」行物　無機材質研究所研究報告書第42号　希土類けい酸塩ガラスに関する研究第43号　りん酸ジルコニウムに関する研究第4碍　超圧力技術に関する研究第45号　超高温耐熱セラミックスの研究開発　ご希望の方は，管理部企画課に文書にてお申込み下さい。（8）