# Fileset

[HfO2-Fig9-Work-20230518.pdf](https://mdr.nims.go.jp/filesets/dce08302-0719-4a9e-8d87-6aa829975ac7/download)

## Creator

[OGIWARA, Toshiya](https://orcid.org/0000-0002-7376-6571), [NAGATA, Takahiro](https://orcid.org/0000-0002-8591-2943), [YOSHIKAWA, Hideki](https://orcid.org/0000-0002-7389-8865)

## Rights

[In Copyright](http://rightsstatements.org/vocab/InC/1.0/)

## Other metadata

[Raw data files for Fig. 9 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"](https://mdr.nims.go.jp/datasets/62bc993e-4ba9-4a4d-bc7f-58782bd33402)

## Fulltext

HfO2/Siデプスプロファイル研究論文，”極低角度入射ビームオージェ深さ方向分析によるHfO2/Si基板の分析”に掲載されている Fig.9 オージェデプスプロファイルの Raw data ファイル荻原俊弥，長田貴弘，吉川英樹，J. Surf. Anal. 24, 192 (2018).a) のオージェデプスプロファイルは論文に掲載の Fig.9 に相当し，横軸は nm である．b) は横軸を測定回数で表したものであり，横軸を nm に変換する前のプロファイルである．Raw data ファイルは，b) に対応している．a) b) スライド 1: 研究論文，”極低角度入射ビームオージェ深さ方向分析によるHfO2/Si基板の分析”に掲載されている Fig.9 オージェデプスプロファイルの Raw data ファイル