# Fileset

[JSA_Vol.1_No.1_36-42.pdf](https://mdr.nims.go.jp/filesets/db653add-8c37-4e98-9a05-6cb1be7963d9/download)

## Creator

[Ogiwara, Toshiya](https://orcid.org/0000-0002-7376-6571), [Tanuma, Shigeo](https://orcid.org/0000-0003-2628-9941)

## Rights



## Other metadata

[Arイオンスパッタリングされた各種化合物半導体表面のSEM観察](https://mdr.nims.go.jp/datasets/3e560e32-fb97-4ef6-8c6c-e0cb93a754b0)

## Fulltext