[Info]
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Version=1.2.5

[Region 1]
Region Name=O1s
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[Info 1]
Region Name=O1s
Excitation Energy=0
Energy Scale=Kinetic
Acquisition Mode=Swept
Center Energy=5418
Low Energy=5408
High Energy=5428
Energy Step=0.05
Step Time=200
Detector First X-Channel=1
Detector Last X-Channel=1064
Detector First Y-Channel=1
Detector Last Y-Channel=1000
Number of Slices=1
Lens Mode=Transmission
Pass Energy=200
Number of Sweeps=4
Spectrum Name=O1s
Instrument=HEA-4MS249
Location=SPring-8
User=BL15XU
Sample=p-Si3
Comments=2009A,;PE=200eV, TOA=30deg;RT, c0.5mm;ID24.4;
Date=1/31/2010
Time=10:12:07 AM
Time per Spectrum Channel=349

[Run Mode Information 1]


[Data 1]
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